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干式真空泵厂家

点击次数:   更新时间:18/01/19 08:48:01     来源:www.danruizk.com关闭分    享:
  市面上干式真空泵厂家较多,选用厂家前要了解此类泵的作用到底是什么。干式真空泵是指能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。主要有干式螺杆真空泵、无油往复真空泵、爪式真空泵、无油涡旋真空泵几种形式,且应用广泛。干式真空泵
  1、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵。
  2、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式真空泵可以满足要求。
  3、干式真空泵可用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
  4、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。
  5、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中。
  随着科技的发展,干式真空泵厂家技术也不断提高,受反应物质影响小,稳定性好。选择一家好的厂家购买,质量更有保障。

淄博丹瑞真空设备有限公司
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